玻璃基板厚度测量
日期：2020-06-04
来源：三姆森科技
屏幕厚度，玻璃基底上的凹坑测量
智能手机或平板电脑上那层镀过膜的、超高硬度的屏幕玻璃是通过非常精密的工艺生产出。其切割边缘需要被完全检验来判断玻璃是否能进入到下面的拼装工序中。ert的色散共焦测量传感器能够使用不同的测头在线测量屏幕玻璃的尺寸和厚度。色散共焦传感器通过一次扫描能同时测量玻璃的翘曲度和厚度。色散共焦传感器也能测量玻璃表面那些由打磨或激光消融产生的凹坑或缺口的深度。这些凹坑会导致玻璃在往后的使用中由于受力开裂。
玻璃基板是构成液晶显示器件的一个基本部件。这是一种表面极其平整的浮法生产薄玻璃片。目前在商业上应用的玻璃基板，其主要厚度为0.7 mm及0.5m m，且即将迈入更薄（如0.4mm）厚度之制程。基本上，一片TFT- LCD面板需使用到二片玻璃基板，分别供作底层玻璃基板及彩色滤光片（COLOR FILTER）之底板使用。
能够提供大尺寸上影液晶屏幕玻璃基板的厂商只有美国康宁、日本旭硝子等四家，其中美国康宁占据51%的市场，日本旭硝子占据28%的份额，而能够为5代以上生产线提供配套的也只有这两家，虽然玻璃基板只占据TFT-LCD产品成本的6%-7%，但技术上的寡头垄断让玻璃基板产品成为TFT-LCD上游材料占据主导的零配产品。国内彩虹、东旭等自己上马的TFT-LCD玻璃项目应该得到特别的支持与鼓励。
由于玻璃基板厚度非常薄，而厚度尺寸管控又非常严格，一般在0.01mm的公差，主要准确地测量玻璃厚度、翘曲和平行度。采用ERT光谱共焦传感器很好的解决这一难题，由于采用共焦原理，一次测量即可完成了高度值、厚度值的采集，加上同时采用多只传感器测量，不但提升了效率，而且避免接触式测量造成的二次损伤
